白色光源から出た光をスプリッターという機構で2分割し、別々の光路を通ったあと再び重ね合わせて観察対象物に焦点を合わせると、光路の差によって干渉縞が現れます。この干渉縞を解析することで、表面形状や粗さを三次元で計測することが出来るものです。
基本仕様 |
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| 方式 | 非接触式 白色光干渉分析法 |
| スキャナ | クローズドループ リニアサーボ |
| 検査範囲 | 86x64μm～1411x1058μm |
| 外径寸法 | H216xW203xD89mm |
| 重量 | 4.33kg |
| 電源 | 100/240V AC , 50/60Hz |
アクセサリー |
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| 対物レンズ | 干渉計対物レンズ 4x , 10x , 20x |
| 校正 | 長さ校正基準スケール、深さ基準球 |
性能 |
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| 垂直スキャンレンジ | ≦500μm |
| 垂直方向分解能 | 10nm |
| 横方向分解能 | 0.13～2.21μm |
| スキャン速度 | ≦20μm/swc |
| 最大所得データ | 307200 |
| ステップ高さ | 精度≦ +/-0.5% 繰り返し精度≦0.05%@1σ |
| 検査項目 | セル深さ、セルボリューム、スクリーン線数 |
| 表示 | 2Dおよび3Dグラフィック、リアルタイム表示 表形式データ表示、手動計測ツール 手動指定部分の自動計測、イメージキャプチャー 複数の補助画像 |
検査対象 |
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| 材質 | 透明、不透明、塗工されたもの、されていないもの 鏡面仕上げされたもの、されていないもの （非常に反射率が高い物は難しい場合があります） |
| 用途 | アニロックスセル、グラビア彫刻、精密計測や状態検査 フレキソやリトグラフ刷版の検査 表面の面粗さ計測（柔らかいものや脆い材質を含むあらゆる物体の表面） |
動作環境条件 |
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| 温度 | 15～30℃ |
| 振動許容値 | 1Hz～120Hz |
左の画面では、光学イメージによるセル表面の確認や、セル深さ、セルボリューム、スクリーン線数、セル角度、隔壁厚さなどの数値がスキャン後に自動で表示されます。
3D表示モードでは、形状の高さをカラーグラデーションによって表示し、またマウスの操作により自由に方向を変えて見ることが出来ます。例えば、青紫で示された部分が壁面のピーク部分の形状を表しています。逆に赤紫は一番低い個所を示し、アニロックスロールの場合ですと、セルの底となります。 これによって、より視覚的な形でセル内部への残留物、セル形状の不具合、セル壁の摩耗状況など、セルの状態を観察するために役立ちます。
一本のアニロックスローラーのデータをソフト上で時系列で管理することが出来る為、新規購入時から現在にいたるまでの摩耗状況やセルの詰まり具合を確認でき、再研磨や特殊洗浄のタイミングを予測するなど、科学的な管理を行うことが出来ます。
また、光学イメージを見ながら任意の部分の二次元断面グラフの表示と、その部分のRa,Rtなどの表面線粗さも自動で計測することが可能ですので、アニロックスのセル測定以外にも、ロールの表面粗さの確認や製品の局所的な不具合の形状・深さ・大きさなどをすぐさま確認することが可能です。
その他：出力用レポートの作成や、データベース化、データ同士の比較機能など
頑丈で耐久性のあるハウジング |
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人間工学に基づいた一体型ハンドル |
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堅牢な内部光学系 |
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ステータス LED ライト |
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拡張アルミニウム削出底板 |
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ロック式USBおよび電源コネクター |
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| パラメーター | 10倍干渉計 | 20倍干渉計 |
| 開口数 | 0.3 | 0.4 |
| 作動距離（mm） | 7.4 | 4.7 |
| 水平解像度（低倍率、ミクロン） | 0.92 | 0.46 |
| 水平解像度（高倍率、ミクロン） | 0.46 | 0.23 |
| 垂直解像度（ミクロン） | 0.01 | 0.01 |
| 1倍視野（mm） | 0.59 X 0.44 | 0.29 x 0.22 |
| 2倍視野（mm） | 0.29 X 0.22 | 0.15 x 0.11 |
| 広視野モードでの視野（mm） | 1.18 X 0.88 | 0.58 x 0.44 |
| 画面カウント範囲 (lpi)(lpcm) | 60-1000(25-400) | 120-2000(50-800) |
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